新型CMOS器件课题组

我们针对校内外人员提供一定机时的测试服务。目前主要的设备如下：

1. Agilent B1500A 半导体测试仪

空格Agilent B1500A 半导体器件分析仪是一款具有 10 插槽配置的模块化仪器，可支持 IV 和 CV 测量及快速高电压脉冲测量。它采用常见的 Microsoft Windows 用户界面，可支持 Agilent EasyEXPERT 软件。该软件为器件表征提供更直观的、面向任务的新方法。Agilent B1500A 具有极佳的低电流、低电压和集成电容测量能力，因此可满足广泛的半导体器件表征需求（IC-CAP 支持 B1500A）。它还是一款用于非易失存储单元表征和高速器件表征（包括先进 NBTI 和 RTS 噪声（RTN）测量）的出色解决方案。

图1 Agilent B1500A 半导体测试仪

2. Agilent 4294A LCR测试仪

空格Agilent 4294A 精密阻抗分析仪是适用于元件和电路有效阻抗测量和分析的集成解决方案。它覆盖了很宽的测试频率范围(40Hz至110MHz)，具有±0.08%的基本阻抗精度。其优异的高Q值/低D值精度使其能分析低损耗元件。其宽信号电平范围可用于在实际工作条件下评估器件。测试信号电平范围为5mV至1Vrms或200uA至20mArms，直流偏置范围为0V至±40V或0mA至±100mA。先进的校准和误差补偿功能避免了进行夹具内器件测量时的测量误差。Agilent 4294A 是适用于电子元件设计、论证、质量控制和生产测试的强大工具。

图2 Agilent 4294A LCR测试仪

3. Cascade EPS150TRIAX 探针台

空格Cascade EPS150TRIAX是一款可测试6寸（150毫米）晶圆的手动探针台，简便、精密、性价比高，内含接触高度显示表，定位器调节轨道，探针防护装置和完整的辅助载物台。其高品质的电缆和双重屏蔽信号线路允许漏电流水平在fA级别下，进行高精度的I-V/ C-V测量，还可在高温下进行Kelvin 连接的低噪声测试，并在最短的时间内获得准确的测量结果。EPS150TRIAX定位器能够进行X-Y-Z三维无死角移动、平整度高，位移距离的重复精度能够达到1μm，其扎针位置的精准度和接触重复性甚至能与半自动机台相媲美。我们目前的探针台系统可以结合已有的B1500和4294A电学参数测试仪对小样品进行高温下的测试。

图3 Cascade EPS150TRIAX 探针台

4. 椭圆偏振光谱仪

空格椭圆偏振光谱仪是一种表征表面、界面和薄膜的有力光学手段。其光谱仪范围可延伸至近紫外、可见、近红外波段，因此可适用于更大薄膜厚度范围样品的测试。我们现有的椭偏仪波长范围为250nm-1700nm，膜厚可精确到0.01nm。

图4 椭圆偏振光谱仪

更多详细信息请联系管老师：guanfurong@zju.edu.cn